该晶圆开发厂属于华中发达国家,其主要的生产销售85英寸光电器件晶圆,日访问量废水处理工艺减排量约800吨。因的生产销售具体步骤中利用很大氢氧化钠实施晶圆蚀刻,诱发废水处理工艺中氟化物浓度值自由高达200-300mg/L,远超发达国家减排标准规范(10mg/L这)。
废水处理化学物质及特征
废水处理工艺包括是来自于二个缓解:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高浓硫酸浓度氟化物(HF)、盐酸及极少量天价属
药剂学机械性镜面抛光(CMP)废污水
:含微米级硅颗粒物、有机物络合剂
机 拆洗焦化废水
:含异丙醇、氯离子等生物碳物
工作鑫霖环保方法
应用"物理滤渣+混泥土滤渣+角度筛选"三阶段工作系統:
第一加工
:污泥脱水氯化钙和氢氧化物钙,进行氟化钙沉淀自己,氟化物清掉率达85%
一级操作
:调用PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),我们要除溶液态弄脏物
三级分销外理
:可以通过多媒介油烟净化器器和降解性炭降解,冒水氟化物浓度值相对稳定在8mg/L这
要素设备还有:pH一键调接系统性、斜管沉淀物中池、板框过滤机(淤泥烘干)。
终究使用效果
新项目作业十年探测数据资料显示信息:
氟化物评均密度:7.2mg/L(少于国家的细则)
COD剔除率:92%
污泥干化含水分率:≤65%
年的回收进行氟化钙加工品设备约150吨,进行网络循环经济进行