该厂为8厘米晶圆研发线设施的超软水模式，每一天造成含硅废水处理工学艺150吨。废水处理工学艺中虽无血本属，但硅含氧量高易积灰，且电容率需可达18MΩ·cm能够使用。原先处理工学艺無法拥有新发布的《电子技术化工业水污染源物废气排卸要求》（GB39731-2020）有点废气排卸规定值。 工业废水成份性能 首要弄脏物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、科粒硅（颗粒直径0.1-1μm） 特色标准要求 ：TOC<10μg/L，硼含铁<5μg/L 水硬度特征参数 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机化合物性状缜密 处里操作流程操作流程 创新发展按照"梯级膜分離+电去阴离子"组成加工过程： 微滤预工作 ：1μm工业陶瓷膜屏蔽广告大粒子硅，通量保持80LMH 铁离子相互交换硅橡胶 ：D201大孔环氧树脂取舍性吸硅酸原子 中级RO系统的 ：第一次段利用率60%，第二个段采取高脱硼膜器件 EDI电去阴阳离子 ：功率硬度2A/m²，坚持清除稳定度正离子 分光光度计消毒 ：254nm太阳光的紫外线灯线的用药量40mJ/cm² 技巧闪光点 激发专用型阻硅剂（生产胺类pp物），延长时间膜污染破坏定期3倍 EDI功能模块革新流道构思，硅删去率升降至99.8% 在线免费硅分析一下仪（測量空间0.1-500μg/L）构建精准度有效控制 运作预期效果 经再者方查重： 总硅从280mg/L降低0.05mg/L 硼份量从8μg/L高于0.3μg/L 系统出售率从原40%提高至68% 膜换过渡期延后至5年，年启动总成本减轻35%