某半导体行业集成ic开发厂在晶圆制作加工时中,用硅烷来进行硅外加生长发育,尾气排放洗衣塔造成高渗透压含硅生产生产废水。生产生产废水存在pH下跌大(2-11)、硅含锌量高的特色,传统性正确处理手段易造成硅垢堵赛问題。
生活污水部分及来源地
工业废水其主要部分为:
溶解性性硅酸盐
:SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢氧化反应钠
:洗衣塔酸性洗衣液残存
科粒硅
:納米级SiO₂悬浊液
痕量砷
:材料杂物带去
加工艺注意事项
科学创新用到"有级结合+膜过滤清洁+挥发晶粒"工艺技术:
四级结合
:用CaO缓解pH至4-5,导出硅酸钙滤渣,硅彻底清除率60%。
三级中合
:加Na₂CO₃将pH升级至9,进一大步放置剩余时间硅,串联用镁剂除砷。
反渗透装置操作系统
:0.02μm陶瓷制品膜油烟净化器納米级硅颗粒剂,通量固定在80LMH。
MVR冷却器器
:沉淀高盐电镀废水,晶体出Na₂SO₄副新产品,水造纸废水处理率超90%。
从而疗效
总硅从1500mg/L减少为5mg/L以内
砷硫含量从0.8mg/L调至0.01mg/L
装置无水垢程序运行高达2年
每人每年收售硫酸钠钠结晶体约800吨