上海市某半导体器件电源芯片手工生产厂家，晶圆代加工操作过程中造成含硅、氟的个性化废污水，装修设计净化治理数量1200吨/日。废污水营养成分繁杂，包含的奈米级硅颗料及氢氧化钠，传统艺术净化治理技术难易符合标准。 废污水化学成分及收入 注意被污染的物 ：固体硅（100-500nm比表面积）、氟亚铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 来历环节 ：晶圆刻蚀废液处理工艺（45%）、CMP生物学物理cnc精密机械加工废液处理工艺（40%）、机械设备清洗水（15%） 清理施工生产工艺流程步骤 的创新按照"化学工业沉积+特种车膜拆分"技术设备规划： 钙盐凝固 ：添加氯化钙出掉氟阴离子（添加CaF2沉淀自己） 斜板沉淀池的反应 ：包覆斜板沉淀池剂保证 氢氧化铁硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm直径膜挪作他用微细颗粒肥料 反融入操作系统 ：脱盐率>98%，回收处理率75% 挥发凝结 ：浓水段变现氟化物零的排放 结果是效率 氟化物溶度：<8mg/L（压低部委特级规定10mg/L） 硅份量：<5mg/L 水成本回收利用率：70%用在制冷塔补湿 危险废物减轻：蒸发掉渣滓量较民俗工艺设计下降60%